罗茨风机之串联应用

罗茨风机(roots-type pump) 是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中罗茨风机需要前级泵。罗茨风机的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨风机串联使用。